超高真空抽气单元

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-10 1:23:23 * 浏览: 1

超高真空单元的工作范围为10 ^ -6Pamdash和10 ^ -8Pa超高真空压力。除要求真空室的材料放气率低，漏气率小外，还可以承受200℃的冲击和450℃的高温烘烤。机组要求：①主泵的极限真空度很高，至少10 ^ -7Pamdash，l0 ^ -8Pa或更高。 ②主泵在超高真空工作压力范围内有一定的抽速。 ③单元的主泵或主泵进气口上方的部分可承受200℃的冲击和450℃的高温烘烤。 ④主泵的回气（包括工作流体蒸汽和分解气）的分压必须足够低。 ⑤抽气选择性强的主泵应配备足够大的辅助泵。 ⑥在设备主泵进气口上方的管道和阀门等材料的选择和密封必须特别小心。通常，使用放气率较低的不锈钢和金属环密封。